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膜厚モニター FE-300

大塚電子 / 大塚電子
ID:K00196
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小型で低価格！反射分光方式による簡単操作で”非接触”膜厚測定!
薄膜から厚膜まで（3nm～35μm）の幅広い膜厚に対応

FE-300

  • 薄膜から厚膜の幅広い膜厚に対応
  • 反射スペクトルを用いた膜厚解析
  • コンパクト・低価格でありながらも高精度測定を実現
  • 条件設定や測定操作が簡単、どなたでも手軽に膜厚測定可能
  • ピークバレイ法、周波数解析法、非線形最小二乗法、最適化法などによって幅広い種類の膜厚測定が可能
  • 非線形最小二乗法の膜厚解析アルゴリズムにより、光学定数解析（n：屈折率、k：消衰係数）が可能

仕様

型番 FE-300 （薄膜測定タイプ） FE-300 （標準測定タイプ）
本体のサイズ
(W)x(D)x(H)mm		 280×570×350
重さ 24kg
電源 AC100V
測定項目 ・多層膜厚測定
・絶対反射率測定
・光学定数解析（n：屈折率、k：消衰係数）
測定波長範囲（nm） 300～800450～780
測定膜厚範囲（nd） 3nm～35μm10nm～35μm
用途 ■半導体ウエハ（レジスト、SOI、SiO2など）
■光学フィルム（ARフィルム、ITOなど）
希望小売価格
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